WebJSR's unique THB series of negative tone resists address the needs of metal plating and bumping processes using a proprietary design that incorporates a polymer backbone with multifunctional acrylate groups. Excellent plating tolerance and ease of stripping allow JSR THB negative tone photoresists to provide fast processing with excellent exposure … http://apps.mnc.umn.edu/archive/ebpgwiki/rsrc/EBPG/Datasheets/ZEP520A_Datasheet.PDF
JSR - Wikipedia
Webレジストの使用方法. 図1. レジストの使用方法. 半導体製造工程ではシリコンウェハーをエッチング処理によって削り取り、細かな凹凸を作ります。. このエッチング処理におい … WebReal Estate Board Payment Portal Login; Register; REB Website; Payment Portal fleggaard for the boys
JSR EUV用金属レジスト、SK社のメモリに応用 – 日刊ケミカル …
Webフォトレジスト ( 英語 :photoresist)とは、 フォトリソグラフィ において使用される、光や電子線等によって溶解性などの物性が変化する組成物である。. 物質の表面に塗布され、後に続くエッチングなどの処理から物質表面を保護することから ... WebSep 17, 2024 · jsrは17日、先端半導体技術「euv(極端紫外線)」に対応する感光材(フォトレジスト)を開発・製造する米インプリア(オレゴン州)を完全子 ... WebZEP520 series are high performance positive EB resists which sho w high resolution, high sensitivity and high dry etch resistance. They are suitable for various EB processes. (1) Resolution Show high resolution and rectangle pattern profile (2) Resistance to dry etching Show high dry etch resistance and are almost equivalent to that of fleggaard click\\u0026collect